MHS4 Iipushokwetelo {icipande {1 {1}Icikomo ca Bushiku: Ubucindami bwakupiminapo pa Muulu [2}}Ifyakukonkana
Ukulungatika- ukwapangwa ku mulimo{ }4} ukubomfya apo ubusuma bulondolola ubusuma.
Ukupilibuka kwane(0{0{}}Ukusanga Ubusuma
⌖ Ukukonkomesha Kwalinga
4{1{1}Jeeni Inshila ya Kupanga
Ukufumyapo ukuonaika kwa fipe ifyakupangapanga ne misango ya maka ya madigiri 360 .
Ukupilibuka kwa mumbali<0.005mm TIR
pa 3950N amaka ya kupindulula
Amamalati ayashingulwikwe(0- Amapindo ya Miti
Mukufumya 2M+ imiputule mu fifulo fyakufushishamo
Amafuta ya Mashini ya Mano ya Kubomba
|
Pa cipimo |
Imibombele |
|
Patwebelwamo |
2-16m (64mm fyonse pamo ∅ ukubilisha) |
|
Amaka ya Kupanga Max |
38000 (387 kufg) |
|
Amaka ya Kufunguluka aya Max |
3950N (403kg) |
|
Ukubwekeshapo Ukulungatika |
±01mm |
|
Imibombele iyakubomfya |
120Hz (0.0Hg) / 60Hz (2.1kg) / 30Hz (6.46kg) |
|
Ukufikapo kwa Teku |
5 ukufika ku madigiri 60 |
|
Ukupatikisha ukuwamya |
1-6 bar (ayaonaula) / 2-6 bar (uwacingililwa) |
Ukulungatika-Ifyakubomfya
Ukupanga kwa baNgeleshi
450mm ukubomfya ifipe ifya zero
Ukulingana kwa cishibilo ca EUV (±0.003mm TIR)
Ama roboti ya muputule wa viruum yapwacitile- ababifi
Amashini ya mu lwelele aya mu lwelele
Ukufumya kwa injini ya Jet.
Umukonso wa fan uwakongama
Ukulonganika kwa mapili ya satelaiti
Ukupanga Ifyakulya ifya Bu dokota
Ukupanga umukonso wa mu cifuba (Ina 0.2μm ukupwisha)
Ukufimba kwa mu kati ukwa mubili
Ukufumya kwa meno ukwa mu mutima
Injiniya ya Kusalapo
Ukubomfya ifiputulwa fya fikope
Ukupima ukwapalamisha ukwakumanina
Ukulonganika kwa kamera ya kamera ukwashinguluka
ROI {0{4}Ukupitila mu Mutengo wa Mutengo
Ukuwamya kwa mu kati: 998% ukukonka ukwalinga mu kupanga kwa fya miti ukwa kupanga
Ukubombela pamo: Ukubweseshamo 3-7 ifipe ifyapeelwa pa ncende ya mulimo .
Ukusakamana ukusobela: Ifipimo fya mibele ya bantu filamona ifinono- ifya kufwala ifya kufwala ilyo bashilaya mu kulungatika
Ukukosa kwa Mubili: Asunga ±0.002m ukulungatika pa cipimo ca madigiri 55
Ukusondolwela
MHS4 ilalondolola cipya cipya{{11}} ukulingana na ukoshine{0{0} joww pakati ka mipangilwe, ukutwalaukushintilila kwa mu kati ukwabula ukulingana (<0.005mm TIR)paamafakitare(0-etela (3950N). Mukupwisha ubwafya bwakukansana kwacibombelo mu nshita ya pa muulu(1{1{1}} ukulingana, cilenga ukucimfya kwa maka mu mibele ya pa muulu, iya mu lwelele, no kupanga ifya bu dokota. Pa mulandu wa kuti ifintu fitatu ifya cifyalilwa filenga ukuti kube ifintu ifinono ifya ku mubili, ifya kufwala fya mu kati filalenga ukuti amaka ya MHS4 yashininkisha ukuti amaka ya kupanga ifintu yalilungama. Ici te cakukansha fye - ni nshita yenu iyakubomfya pa kucimfya umupaka(9}} ukulingana no kushipikisha kwakupanga(10}}etela ukucetekela.
Ama Tags aya Kufina: 4-fyuma 4, icalo ca China 4-100 ica bapanga ifya kufwala, abapeela ifipe, ifya kufwala
